源于姬姓，出自春秋时期鲁孝公之子彄的封地臧邑，属于以封邑名称为氏。
唐朝著名史家孔颖达的《左传正义》的补白：“僖伯名彄（kou)，字子臧……计僖伯之孙始得以臧为氏，今于僖伯之上已加臧者，盖以僖伯是臧氏之祖，传家追言之也。”。臧氏开姓始祖应为臧孙辰，而追根溯源，为鲁孝公之子僖伯名彄（姬姓）之子嗣，后人以臧姓冠以“臧僖伯”传诸于世，奉为臧姓始祖。
据史籍《通志》记载，春秋时期，鲁孝公姬称将自己的儿子姬彄赐封到臧邑(今山东郯城归昌乡一带)，为子爵，称字子臧。后来，在姬彄的后代子孙中就有人用他的封邑名“臧”作为自己的姓氏，称臧孙氏，称姬彄为臧彄，在史籍《史记》中称为“臧僖伯”，此后就有了臧氏一族。据《通志·氏族略·以邑为氏》中记载：“臧氏，姬姓。鲁孝公之子彄，食采于臧，因以为氏。”在史籍《古今姓氏书辨证》中记载：臧，姬姓。鲁孝公子彄，字子臧，其孙以王父字为氏。一曰：彄食采于臧邑，为臧孙氏，后世单为臧氏。臧僖伯彄生哀伯臧孙达，达生伯氏瓶（臧孙瓶），瓶生文仲臧孙辰，辰生宣叔臧孙许，许生武仲臧孙纥及定伯臧为，皆鲁卿。又，昭伯赐，顷伯会、臧宾如、臧畴、臧贾、臧石、臧坚，皆鲁大夫。在山东汶上县《姬氏志》中亦记载：“臧姓，源于姬姓，其先出自鲁孝公之子驱，字子臧，其孙以王父字为氏。”
又据《通志·氏族略》记载：“鲁孝公之子名彄，食采于臧，后建立臧国，为子爵位，世称子臧，或臧。其孙以王父字命姓，分为两支，一支臧孙氏，一支臧氏。后来，臧孙氏亦省文改复姓为单姓，也成臧姓。”
源于姬姓，是春秋时鲁惠公之子名欣，字臧，其子孙以其字作为自己的姓氏，亦称为臧氏。
源于官位，出自汉朝时期官吏库臧丞，属于以官名称谓为氏。库臧丞，就是库藏丞，是汉朝时期专职官吏国家库藏的官员，直接归属右宰相管辖。秦、汉时期，臧与藏同义通假，可互用。右丞掌重内库藏虞舎、凡诸器用之物及尘振人租布、刑狱、兵器、督录远道文书……等等。隋朝时期归属于隋家令寺司，专职掌管臧署令、臧署丞等，唐朝时期因之。这在史籍《前汉书·食货志》中记载：“出御府之臧以赡之。”
在库臧丞、臧署令、臧署丞的后裔子孙中，有以先祖官职称谓为姓氏者，称臧氏，世代相传至今。
另外，南宋中叶开始，建家族宗祠之事兴起，到北宋时期达到鼎盛，不仅仕宦官绅之族大兴祠堂，连一般贫穷士子家族也不遗余力。因为好多氏族的世系已失考，人们开始以堂支、房支、门封来划分宗脉，而堂号也是五花八门：如“余庆堂”、”鼎兴堂”、“安庆堂”、“垂裕堂”、“东海堂”、“孝思堂”、“敦睦堂”、“嘉会堂”、“烈士堂”等等，而堂之下再衍生出房支和门封，如东房、南房、西房、北房、以分迁祖名为支、以分居地为支的门封等等。明清时期，这种家族宗脉世系记载方式已十分普遍，真可谓“没有无祠之族，没有无谱之人”，因此我们目前流传于世的一般都是以堂号、房支、门封来标志的宗脉流源。
江西浮梁臧氏，已有一千多年历史，始祖文昌公，后裔主要分布在浮梁以及附近的鄱阳、婺源、南昌等地。
诸城臧氏族谱对族居地记载清楚，清康熙“琅琊碑记”中云：“吾祖居琅琊台，再乃迁居瓦屋庄，后又迁居于城（诸城城里）……”，又据祖辈相传云，诸城臧氏乃于明洪武二年由江苏省东海宿迁县迁入诸城琅琊台。又据长兴眉锡在康熙《诸城臧氏族谱》序中谓：“……即自吾鲁僖伯公以后之散处于大江以南，大海以北者之俱可寻源溯委也……”，六世祖新德在康熙年间的谱序中云…

两晋南北朝时，臧姓发展出现新特点，繁衍于东莞郡的臧姓大批渡江南下，并且名人辈出，显达扬名，逐渐散居江苏、浙江、安徽等地。隋唐之际，臧姓东莞郡望仍存，依旧名人辈出。 唐末五代时，臧姓徙居江南者甚多，今湖北、湖南、四川、江西等地均有臧姓入迁。各郡望的臧氏宗脉再次分散，慢慢形成派系，据古籍和各地的臧氏谱谍考据，这些派系主要有东莞派（南朝.臧焘、臧熹）、大名派（南宋.臧丙）、浮梁派（南宋.臧论道、臧几道）、四明派（南宋.臧中立）、安吉（湖州）派（南宋.臧询（循））、海门卫派（明.臧相）、诸城派（明.臧惟一）、长兴派（明.臧继芳）等派系。 臧中立宋朝，名医，他在元丰年间来到鄞南胡，每天治愈数千名病人。 臧霸三国，字宣高，费县方城镇一带人，是曹操手下著名大将。曾任琅琊相，类同临沂地区行政长官第一把手。他为人正直义气，李景星在《四史评议·三国志》中，称他为“气节之士”。 臧怀恪唐朝（668～724），字贞节，唐莒州北乡(今山东省安丘县)人。唐玄宗开元年间，以智勇名闻于当时，后官累至右武卫将军、上蔡县开国侯。怀恪有七子皆是当时名将。死后陪葬献陵。 臧希让唐朝，唐肃宗时期名将，父亲大唐开元名将臧怀恪。历元帅都虞侯等职，官至鄜坊(渭北)节度使，开府仪同三司，太子詹事，御史大夫，兼工部尚书(司空)，封鲁国公。…